[SmartMembranes] Macroporous silicon

등록일2024. 10. 21

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[SmartMembranes] Product

어스바이오는 SmartMembranes 전문 취급점으로서 모든 제품을 전문적으로 취급 및 공급하고 있습니다.
SmartMembranes의 MakroPor 제품을 소개드립니다.

[SmartMembranes] Macroporous silicon

SmartMembranes의 macroporous silicon은 photo-electrochemical process을 사용하여 에칭되는 n 또는 p doped single-crystal silicon으로 구성됩니다. 기공의 배열과 기공 간 거리는 사전 구조화된 photo mask에 의해 정의됩니다. macroporous silicon는 flow-through-membrane으로 직접 사용하거나 거시 구조 형성을 위한 단면 폐쇄형 템플릿으로 사용할 수 있습니다.

MakroPor:

SmartMembranes의 MakroPor membranes은 기공의 전체 길이에 걸쳐 일정하게 유지되는 고유한 기공 직경(편차 5% 미만)을 가진 기공을 특징으로 합니다. 기공은 사전 구조화 단계로 인해 전체 웨이퍼 크기에 걸쳐 정확한 육각형 또는 정육면체 방식으로 균일하게 배열됩니다. 추가적인 이방성 에칭을 적용하면 원형 기공을 정사각형 모양의 기공으로 넓힐 수도 있습니다.

Material Properties:

Pore diameter adjustable from 1 µm up to 17 µm (or bigger)
Interpore distance and arrangement of the pores adjustable by means of prestructurings through a photo mask
Standard deviation < 5%
Flow-through-membrane with symmetric pores
Porous silicon with one-side-closed pores
Pore depth from a few µm up to 500 µm
Porosity adjustable starting from 20%
Thermal stable up to 1200ºC (depending on the environment)
Functionalization of the surface possible

어스바이오(USBIO)는 SmartMembranes 전문 취급점입니다.
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